用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特點：
IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴苛制程。
它優(yōu)良的性能源自于轉子排氣路徑和優(yōu)越的轉子型線設計。
漢鐘獨特型線設計，上海，臺灣，制造。
較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式。
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。
優(yōu)化的尺寸，即插即用。
0574-86119919
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用途：
Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD
特點：
IPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應用領域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴苛制程。
它優(yōu)良的性能源自于轉子排氣路徑和優(yōu)越的轉子型線設計。
漢鐘獨特型線設計，上海，臺灣，制造。
較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式。
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積。
優(yōu)化的尺寸，即插即用。
浙公網(wǎng)安備33020602001261